PECVD设备外加热器是本公司最新研制的高科技电加热产品，是结合PECVD沉积炉所需温度及工艺特点而研制的，采用进口多面扎机，三面分段扎进（推进式）原理，保证加热器内加热的均匀性，克服以往PECVD设备外加热器采用圆柱形电热管诸多缺点。

主要特点  
    首先加热器的外形截面采用的是三角形，确保有一个面与设备外壳紧密接触，保证有最大化的热传导，提高了加热器热效率。
    因采用较先进的扎机推进式制造原理，保证加热器的电阻丝的均匀性，也可以根据需要制造成由密到松，成形后的加热器，能满足设备自身温度的上下均匀的要求。（立式按装加热时热流是向上的）

产品应用